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Conception et utilisation d’un réacteur à plasma de type industriel

LPSC, Grenoble, 28-30 Septembre 2011

L’objectif visé était de diffuser les connaissances liées aux installations sous vides utilisées par les chercheurs du réseau Plasmas Froids (RPF) et inversement permettre de mieux appréhender les spécificités des procédés plasma froids par les « vidistes ».

Cet atelier commun aux réseaux Plasmas Froids et Technologies du vide (RTV) a été organisé par A. Bès, S. Béchu et C. Prevost avec le soutien de la MRCT et de la DR14.

Lors de cette formation 25 stagiaires ont pu assister à des exposés académiques notamment sur : les lois d’échelle, le génie des procédés de la part des membres du RPF ; la physique du vide ou les aspects particulier du pompage sous très faible pression, pour ne citer qu’eux, ont été présentés par leurs homologues du RTV. Ces exposés magistraux on été complétés par des séances pratiques organisées sur la Plateforme IAP3 du LPSC et à la société Boréal Plasmas.

Lors de ces journées des industriels partis prenante de la mise en œuvre de réacteur plasma dans l’industrie sont venus présenter des dispositifs de suivi de gravure plasma (Ste Jobin Yvon) ou de contrôle d’injection de précurseurs liquides (Ste Serv’Instrumentation).

Voir l’annonce et le programme

Les présentations sont disponibles ci-dessous

-  Technologies plasma. Extension d’échelle (A. Lacoste)

-  Dépôt chimique en phase vapeur (F. Silva)

-  Évolution d’un cahier des charges (A. Bès)

-  Plateforme OPTIMIST (C. Cardinaud)

-  Introduction à la physique du vide (C. Prevost)

-  Enceinte (aspect mécanique). Contrainte corrosion / température. Mouvement sous vide (P. Bulkin)

-  Dégazage (C. Prevost)

-  Ligne de gaz (J.-M. Garat)

-  Machines pneumatiques rotatives (M. Chiaffi)

-  Sécurité dans les activités de dépôts, gravure, croissance (C. Fresnay)