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Interactions Plasma-Surface : Modèles, Diagnostics et Procédés

I- MODELISATION

I-1. Dynamique moléculaire pour des nanocristaux de Si dans les plasmas froids - effet de la température (H. C. Weissker, N. Ning, H. Vach).

I-2. Modélisation de la croissance de couches minces (A. Dollet).

I-3. Approches de modélisation de gravure des matériaux par plasma froid (A. Rhallabi).

I-4. Modélisation des transferts en projection thermique (D. Gobin, A. Vardelle).

II- DIAGNOSTICS

II-1. Application des spectroscopies infrarouges de réflexion à l’analyse des surfaces (B. Desbat).

II-2. Analyse par spectrométrie de masse de produits d’interaction plasma-surface (C. Cardinaud).

III- PROCEDES

III-1. Interaction ion/surface en PACVD basse fréquence du TMS (A. Soum-glaude, L. Thomas, A. Dollet, J. M. Badie, C. Picard, J. Capeillere, G. Rambaud).

III-2. Contrôle des dépôts obtenus par PECVD en mélange O2/HMDSO grâce aux plasmas pulsés (A. Bousquet, A. Goullet, A. Granier).

III-3. Plasmas et couches minces nanocomposites, multicouches, avec insertion de particules, texturées, poreuses (J. Durand).

III-4. Interaction plasma thermique-surface de poudre : application à la purification du silicium métallurgique (M. Benmansour, D. Morvan).

III-5. Effet des lasers sur les surfaces avant projection thermique (S. Costil).

III-6. Science des surfaces en métallurgie : vers de nouveaux outils pour la compréhension des interactions plasma-surface (T. Duguet, J. M. Dubois, V. Fournée, T. Belmonte).