Physique des réacteurs plasmas radiofréquence
Pascal Chabert (UPMC, Palaiseau)
Les plasmas radiofréquence sont utilisés dans un grand nombre d’applications industrielles. Le plasma est généré par un champ électrique radiofréquence, typiquement à 13.56 MHz. Ce champ peut-être électrostatique ou électromagnétique et il existe plusieurs types de couplage de l’énergie au plasma. Cet exposé présente brièvement la physique qui régit ce couplage et décrit le fonctionnement des réacteurs à plasmas radiofréquence.
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