Le nouvel outil de diagnostic du réseau plasmas froids est une sonde pour des mesures électriques sur plasma RF.

La sonde proposée est l’Octiv VI. Elle permet de mesurer les formes d’onde V (t) et I (t) dans les systèmes plasma et ce jusqu’à 32 fréquences et jusqu’à 5 formes d’onde indépendantes.

Elle a une fonctionnalité en mode pulsé et elle permet des mesures de flux ionique sur wafer.

Des informations supplémentaires sont disponibles sur le site de Impedans :

https://impedans.com/octiv-suite-20-vi-probe

Contact :Cet outil est sous la responsabilité administrative et technique de Garrett Curley du LPP de Palaiseau.

Documents nécessaire à l’emprunt :