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OPTIMIST

Le projet OPTIMIST (Ouverture d’une PlaTe-forme d’Investigation des Mécanismes d’Interaction plasma-Surface sur une large gamme de Température) est proposé par C. Cardinaud et installé à l’institut des matériaux Jean Rouxel de Nantes.

Il vise à offrir, à la communauté des Plasmas Froids, un système d’étude et de caractérisation des mécanismes d’interaction Plasma-Surface multifonctionnelle.

Ce projet, mis en œuvre par l’IMN en partenariat avec le GREMI, est financé par la MRCT (Cortech2004 & Cortech2008) et ces deux laboratoires.

Le réacteur plasma est constitué d’une source rf (TCP) et 3 lignes de gaz sont actuellement installées (SF6, Ar, O2), (tous gaz, sauf corrosifs ou toxiques, peuvent actuellement être utilisés). Le substrat est polarisé et thermalisé. Une canne de transfert sous vide permet de transférer les échantillons à température contrôlée du réacteur plasma vers l’appareillage d’analyse des surfaces "ESCA-Leybold" de l’IMN. La particularité d’OPTIMIST réside dans son porte-échantillon polarisable en dc ou rf et contrôlé en température de -150 à +1100°C.

La plate-forme est ouverte pour des campagnes de manip de 1 à 2 semaines.

Un atelier sur ce sujet s’est déroulé à Nantes au deuxième semestre 2006.

Poster de présentation du projet OPTIMIST (Journées de Bonascre 2004).

Description de la plateforme OPTIMIST.

Modalité d’accès

• Prendre contact avec le responsable de la plate-forme : Christophe Cardinaud Christophe.Cardinaud@cnrs-imn.fr

• Compléter la fiche de demande d’utilisation et la lui transmettre.

• Les conditions générales d’utilisation sont décrites dans la Charte, rédigée lors de la mise en place de la plate-forme.

• Une formation à l’utilisation des équipements (réacteur plasma, canne de transfert, analyse XPS) est nécessaire. Celle-ci est effectuée par le responsable de la plate-forme.

• Annexe : Liste des experts de la plateforme